Solarius Europe Delivers Optical 3D Inspection to Experts for Inhalation Systems

In February 2020 already, a 3D wafer inspection system of the new Solarius SIMP process platform was delivered to the German MedTech innovator Boehringer Ingelheim microParts. After the delivery was completed, the tool now is ready for the final validation of productive use. Following the installation of a SECS/GEM integrated 300 millimeter wafer inspection system in Taiwan in December 2019, the completion of this order is another milestone in the strategic direction of the Solarius Group.

Boehringer Ingelheim microParts GmbH manufactures the RESPIMAT® product portfolio at the Dortmund location. The RESPIMAT® is a propellant-free pocket inhaler that has been available in a reusable version since 2019. With a production capacity of 45 million inhalation devices per year, the subsidiary ensures the supply of the global market exclusively for the researching pharmaceutical company Boehringer Ingelheim.

Solarius Europe enables Boehringer Ingelheim microParts to ensure quality assurance and process control through fast, non-contact 3D measurement and inspection technology, thereby setting new standards in accuracy and precision that can be achieved with optical 3D technologies, while at the same time significantly reducing process times. In addition to the high standards of medical technology, Solarius, with nanometer-precise resolution on lateral structures in the single-digit micrometer range, meets previously unattained requirements for process stability in the optical 3D measurement of technical surfaces and structures.


Über die Solarius GmbH

Solarius is a leading provider of optical measurement systems for non-contact 2D and 3D surface inspection, data processing and visualization. The range extends from laboratory systems for research and development to semi-automatic systems for production-related measurements to customer-specific and fully autonomous inline inspection systems. The company is headquartered in San Jose, California. Solarius’ global presence includes branches in China, Europe and India, supplemented by an international sales and service partner network.

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